어플라이드 머티어리얼즈, 빅데이터·AI 기반 공정제어 新 플레이북 공개

새로운 '인라이트(Enlight)' 광학 웨이퍼 검사 시스템
"韓 고객사 글로벌 탑티어, 파운드리→메모리까지 공략할 것"

어플라이드 머티어리얼즈의 인라이트 광학 웨이퍼 검사 시스템/제공=어플라이드 머티어리얼즈

세계 최대 반도체·디스플레이 장비사 어플라이드 머티어리얼즈가 익스트랙트 인공지능(AI) 기술을 활용한 공정제어 시스템을 공개했다.

어플라이드 머티어리얼즈는 20일 온라인 기자간담회를 열고 익스트랙트 인공지능(AI) 기술을 활용한 공정제어 시스템을 국내 고객사에 공급하고 있다고 밝혔다.

이 시스템은 반도체 제조사의 칩 개발, 생산 체계 도달 시간 단축해준다. 로직 반도체를 생산하는 전세계 파운드리 공장 대부분에 공급된 장비다. 익스트랙트 AI 기술이 적용된 시스템은 출시 2년이 채 되지 않아 매출 4억달러(한화 약 4448억원)를 기록했다.

이석우 어플라이드 머티어리얼즈코리아 전무는 “반도체 기술이 갈수록 복잡해지고 개발과 생산 체계를 갖추는 비용이 증가하고 있다”며 “첨단 노드를 개발하고 대량 생산하는 기간을 단축하는 것은 전세계 반도체 제조사에 수십억 달러의 가치를 제공할 수 있다”고 설명했다.

또 “대량 생산을 위해서는 생산 과정에서 결함을 빠르게 검출해 공정을 개선해야 한다”며 “어플라이드 머티어리얼즈의 솔루션은 인라이트 광학 웨이퍼 검사 시스템, 익스트랙트 기술, SEM비전 전자빔 리뷰 시스템을 실시간 연동해 공정을 제어한다”고 덧붙였다.

인라이트 광학 웨이퍼 검사 시스템은 웨이퍼를 보다 정밀하게 스캔해 데이터를 수집한다. 익스트랙트 기술은 웨이퍼 검사 과정에서 생성된 데이터 중 실제 수율 저하 결함을 빠르게 구별해낸다. 어플라이드 머티어리얼즈는 “익스트랙트 AI 기술은 인라이트 검사 장비에서 전달된 잠재 결함들의 0.001% 수준의 반응만으로도 웨이퍼에서 중요 결함을 추출할 수 있다”고 설명했다.

반도체 수율 결함을 신속하게 구분하는 것은 전세계 반도체 제작 엔지니어들이 고심해온 문제다. 댄 허치슨 VSLI리서치 회장 겸 최고경영자는 “익스트랙트AI기술이 탑재된 어플라이드 머티어리얼즈의 인라이트 시스템은 반도체 수율 결함을 정확하게 추출해준다”며 “사용하는 시스템 수가 늘어나면 늘어날수록 AI가 더욱 스마트해지기 때문에 반도체 제조사는 점점 더 웨이퍼당 수익을 높일 수 있다”고 말했다.

어플라이드 머티어리얼즈는 국내 고객사 확대에 박차를 가할 계획이다. 이 전무는 “한국 반도체 고객사는 글로벌 탑티어 규모”라며 “첨단 파운드리 공정 분야에 협력해왔으며 향후 메모리 분야까지 넓히려 한다”고 말했다.